中山大超臨界流體技術，助半導體突破良率瓶頸| TechNews 科技新報 - TechNews 科技新報

5/5/2022 12:00:00 AM2 years 11 months ago
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中山大學物理系講座教授張鼎張獨創「超臨界流體低溫缺陷鈍化技術」，有望助半導體突破良率瓶頸，師生團隊成立公司推廣，成日本最大半導體設備商東京威力在台唯一投資的新創公司。國立中山大學今天新聞稿表示，為將物理系講座教授張鼎張獨創「超臨界流體低溫缺陷鈍化技術」推向業界實際應用，師生團隊成立奈盾科技（...

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