ASML新一代EUV光刻机上路：单价超26亿- 硬件 - cnBeta

EDA和光刻机可以说是芯片研发、生产设备皇冠上的明珠。最新消息称，荷兰ASML正在研发新款光刻机，价值高达4亿美元（约合26亿元人民币），双层巴士大、重超200吨。原型机预计2023年上半年完工，2025年首次投入使用，2026年到2030年主力出货。

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