中国科大6G滤波器研发取得重大突破- 通信技术 - cnBeta

近日，中国科学技术大学（以下简称“中国科大”）网站对外发布，中国科大在6G滤波器领域取得重要进展。该研究成果由微电子学院左成杰教授研究团队在铌酸锂（LiNbO3）压电薄膜上设计并实现了Q值超过100000的高频（6.5GHz）微机电系统（MEMS）谐振器，与文献中现有的工作相比，把Q值提升了2个数量级。

Ultra HighQLithium Niobate Resonator at 15-Degree Three-Dimensional Euler Angle516IEEE Electron Device Letters x-cutMEMS6.5 GHzS115°fpQp131540k2·Qpfp·Qp63008.6×1014Hz1 1.MEMS(a)(b)SEM(c)15° 210MEM… [+20 chars]

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