KAIST, 차세대 반도체 핵심 3차원 노광기술 개발 - ZD넷 코리아

차세대 반도체 나노 공정의 한계를 넘어설 수 있는 새로운 3차원 노광 기술이 개발됐다. 3차원 나노 구조를 단일 노광으로 효율적으로 제작하는 기술이다. 윤...

3 . 3 .  20 . 3(nm·10 1m) . (=, 1) 27 KAIST , .  ,   . . 3 . (PnP, Proximity-field nanoPatterning) 3 .  .  . .  (Adjoint method) , .  (=KAIST) , . 3 . 3 (ALD) .  GAA(Gate All Around) … [+45 chars]

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