ASML全新光刻机准备中：Intel提前锁定冲击2nm工艺- 硬件 - cnBeta

对于芯片厂商而言，光刻机显得至关重要，而ASML也在积极布局新的技术。据外媒报道称，截至2022年第一季度，ASML已出货136个EUV系统，约曝光7000万个晶圆已曝光。按照官方的说法，新型号的EUV光刻机系统NXE:3600D将能达到93%的可用性，这将让其进一步接近DUV光刻机（95%的可用性）。

NXE:3600D160 (wph)30mJ/cm NXE:3400C18% NXE:3800E30mJ/cm195wph220wph NXE:3600E 0.33 NAEUVASML2025220wphNXE:4000F 0.55 NA ASML 202255EUV202590ASML 90202520301 ASML4262002023202520262030 High-NA EX… [+26 chars]

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